Stroj za vakuumsko premazivanje je uređaj koji nanosi metalne tanke slojeve na površinu podloge. Njegov osnovni princip rada podijeljen je u tri koraka: čišćenje, isparavanje i taloženje.
1. Čišćenje
Prije taloženja isparavanjem potrebno je očistiti komoru za isparavanje. Budući da na površini komore za isparavanje mogu biti oksidi, masnoća, prašina i druge tvari, to će utjecati na kvalitetu filma. Za čišćenje se obično koriste kemijske ili fizičke metode.
2. isparavanje
Željeni materijal se zagrijava iznad svoje točke tališta tako da formira plinovite molekule. Plinovite molekule zatim izlaze u vakuumskoj komori u komoru za isparavanje. Taj se proces naziva isparavanje. Temperatura, tlak i brzina isparavanja utječu na sastav, strukturu i svojstva filma.
3. Taloženje
Plinovite molekule materijala u komori za isparavanje ulaze u reakcijsku komoru kroz vakuumsku cijev, reagiraju s aktivnim materijalom, a zatim talože produkt na površinu supstrata. Taj se proces naziva sedimentacija. Temperatura, tlak i brzina taloženja također utječu na kvalitetu i performanse filma.
2. Primjena
Strojevi za vakuumsko premazivanje imaju široku primjenu u znanosti o materijalima, optici, elektronici i drugim područjima.
1. Znanost o materijalima
Strojevi za vakuumsko premazivanje mogu pripremiti tanke filmove različitih metala, legura, oksida, silikata i drugih materijala, a naširoko se koriste u premazima, optičkim filmovima, optičkoj pohrani, zaslonima, tranzistorima i drugim poljima.
2. Optika
Stroj za vakuumsko premazivanje može pripremiti filmove od metala i legura s visokom refleksijom i optičke filmove s posebnim funkcijama. Ovi se filmovi mogu koristiti u solarnim panelima, elektronskim mikroskopima visokih performansi, aerogelovima, UV/IR senzorima, optičkim filterima i drugim područjima.
3. Elektronika
Strojevi za vakuumsko premazivanje mogu pripremiti elektroničke materijale i mikroelektroničke uređaje u nanosmjeru. Ti se filmovi mogu koristiti u nanotranzistorima, magnetskim memorijama, senzorima i drugim poljima.
Ukratko, stroj za vakuumsko premazivanje ne samo da može pripremiti različite materijale tankog filma, već također može pripremiti tanke filmove s posebnim funkcijama prema potrebi. U budućnosti će se tehnologija vakuumskog premazivanja sve više koristiti i promicati.
Vrijeme objave: 12. ožujka 2024